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微弧氧化(Core Technology: Micro-Arc Oxidation (MAO))技术,又可称为微电浆氧化(Microplasma Oxidation, MPO),电浆电解氧化 (Plasma Electrolytic Oxidation, PEO)、阳极火花沉积 (Anodic Spark Deposition,ASD),火花沉积阳极氧化(Anodic Oxidation by Spark Deposition,ANOF)。
此技术是由传统阳极处理发展出来,但操作电压高于崩溃电压,可在水溶液中的工件表面形成辉光放电(glowdischarge)和微小电弧(micro-arc)现象,所以又称为微弧电浆氧化(Micro-arcPlasmaOxidation,MAPO)。
此技术开始于1960年代,1970年代在苏联开启了轻金属的MAPO陶瓷镀膜的广泛研究,随后美国、德国等先进国家也竞相投入,然而其多孔膜结构和低成长膜速率限制了此技术的实际应用。直到1980年代,发现电解液从酸性改成碱性及电源从直流改成非直流(交流或脉冲),MAPO镀膜的品质和沉积速率可大幅改善,而受到国防和航天工业发达国家的注意和广泛应用。随著民生产品品质要求提升,MAPO也渐渐成为高科技产品中必要且重要的表面处理方法。因此于民生物品制造产业发达的亚洲地区,也于1990年代末开始积极发展类似技术。